對應高真空度等級型開關
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對應高真空度等級型開關
METROL 美德龍
10^-5Pa 對應高真空度等級定位開關。
【特長】
・僅使用低排氣對應零件製造，高真空環境專用的定位開關。
【用途】
・檢測真空室的半導體晶圓有無。
・可用於真空成膜裝置、太陽光發電（PV）真空裝置的玻璃基板定位。
・可用於FPD專用的真空鍍膜裝置的玻璃基板對準或光罩托盤定位檢測、載具的原點定位。
・大型半導體製造裝置製造商相繼採用。 -
規格
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數量
共通規格
| 環境 | 真空 |
|---|---|
| 反覆精度 | 0.003mm |
| 接點部材質 | SUS HRC45 |
| 本體材質 | SUS304 |
| 螺絲公稱 (M) | M5×0.5 |
| 行程(mm) | 1.5 |
| 前端徑 | φ1.5 |
| 本體形狀 | 螺栓型 |
| 前端形狀 | R接點 |
| 型式 | 銷行程形・彈簧定位柱型 |
| LED | 無 |
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