數位質量流量控制器/計量器 GF100

數位質量流量控制器/計量器 GF100

REGAL JOINT

採用MultiFlo™技術，支援氣體種類與全量程流量範圍的選擇與調整

- 具備用戶友好的介面，提供診斷功能與服務端口
- 採用耐腐蝕性Hastelloy材質T-Rise感測器，確保長期穩定性能
- 支援超高速300ms的穩定時間（適用於GF125/GF135型號）
- 提供SDS（Safety Delivery System，安全輸送系統）與HA（高精度）選配功能
- PTI（Pressure Transient Insensitivity）功能提供卓越的壓力變動耐性（適用於GF125/GF135型號）
- 採用無機械可動部件的免維護設計
- 配備實時氣體流量異常診斷與檢測功能（適用於GF135型號）
- 可根據需求提供配管延長與連接接頭

用途
- 最先進的半導體製造流程，例如蝕刻、CVD、擴散爐等
- 最先進的化合物半導體製造（MO-CVD）
- OEM應用：透過MultiFlo™技術支持多種類氣體與流量範圍，減少氣體管路與備品庫存數量
- PTI功能助力氣體系統的小型化與輕量化設計
- 氣體流量異常診斷與檢測功能，實現關鍵流程氣體的長期穩定流量控制

*如欲詢價，請參考REGAL JOINT官方產品訊息*