首頁半導體精選NASclean®氣體過濾器製程氣體管線用 小流量過濾器 NASclean®
製程氣體管線用 小流量過濾器 NASclean®
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製程氣體管線用 小流量過濾器 NASclean®
NIPPON SEISEN 日本精線
本產品是全球唯一採用不鏽鋼短纖維製成的金屬膜濾材，具備低壓損與高粒子去除效率的特性。
適用於 100SLM 以下流量的應用環境，可對應多種製程氣體，為半導體及關鍵製造領域提供穩定、高效的過濾解決方案。
pdf下載 - プロセスガスライン用小流量フィルター（186KB）
半導體氣體過濾器NASclean® 是一款以微米等級不鏽鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜濾材。廣泛應用於半導體、平面顯示器、太陽能電池面板等製程中所需氣體的過濾，從濾材（不鏽鋼短纖維）到最終產品，實現一貫化生產，貢獻產業發展。
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