首頁半導體精選NASclean®氣體過濾器機器保護用過濾器 NASclean®
機器保護用過濾器 NASclean®
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機器保護用過濾器 NASclean®
NIPPON SEISEN 日本精線
本產品為專用於保護 MFC（質量流量控制器）、閥體、壓力調整器等關鍵設備的氣體過濾器。
可依使用條件選擇低壓型或高壓型款式，並支援於現有配管系統中直接安裝，無需大幅修改。
pdf下載 - チューブ型高圧対応超精密フィルター（199KB）
pdf下載 - ディスク型低圧用超精密フィルター（182KB）
半導體氣體過濾器NASclean® 是一款以微米等級不鏽鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜濾材。廣泛應用於半導體、平面顯示器、太陽能電池面板等製程中所需氣體的過濾，從濾材（不鏽鋼短纖維）到最終產品，實現一貫化生產，貢獻產業發展。
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