首頁半導體精選NASclean®氣體過濾器IGS集成式氣體面板用濾材 NASclean®
IGS集成式氣體面板用濾材 NASclean®
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IGS集成式氣體面板用濾材 NASclean®
NIPPON SEISEN 日本精線
本產品為集成型氣體供應面板(IGS)專用過濾器,對應 1.125W-Seal、1.125C-Seal 及 1.5W-Seal 等接口規格。
褶皺式設計,有效實現小型化,提升設備整體空間效率。
結構部分採用機械密封技術,過濾器本體無焊接結構,避免熱影響與污染風險,確保氣體純度。
pdf下載 - 集積ガスパネル用IGSフィルター(202KB)
半導體氣體過濾器NASclean® 是一款以微米等級不鏽鋼短纖維(SUS316L)燒結而成的薄層金屬膜濾材。廣泛應用於半導體、平面顯示器、太陽能電池面板等製程中所需氣體的過濾,從濾材(不鏽鋼短纖維)到最終產品,實現一貫化生產,貢獻產業發展。
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數量
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